伺服减速机是指其齿轮传动装置的重量，一般情况下伺服减速机的重量与齿轮成正比，而齿轮的重量与其材料和热处理硬度的方式又有着很大关系。在功率相同的前提下，渗碳淬火齿轮的重量可能只有调质齿轮重量的1/3左右。由此针对行星齿轮减速机的特点和齿轮的载荷性质，伺服减速机广泛采用硬齿面的齿轮。硬齿面齿轮的热处理方法有很多种，譬如表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，需要根据行星齿轮减速机的特点具体考虑选定。

  伺服减速机的特点突出，包括结构紧凑，回程短，精度高，耐用，额定输出扭矩大等。不过价格稍贵。行星减速器一般用在有限的空间里需要较高的转矩的情况下，即体积小转矩大，而且它的可靠性和寿命都比正齿轮减速器好的多。正齿轮减速器耗电少，低噪音和高效率，可以实现低成本的应用。只要有符合行星减速机要求的地方都可以用到伺服减速机。